□ 通过安装温度流量传感器得到高的快速回应。
□ 采用操作安全的正常关闭的阀门。
□ 通过CF转换功能可以适用多种气体。
□ 使用一个隔膜底座阀门减少死体积。
□ F.S.1SCCM的微少流量也适用（SR option）。
□ 适用于燃烧控制气体产生低差压力（LP option）。

标准指标

连接图