| 机器测量范围 |
|
轮廓仪 |
粗糙度仪 |
| Z轴(纵方向) |
50mm |
±500μm |
| X轴(横方向) |
100mm |
100mm |
| 精度 |
Z轴指示精度 |
±(1.8+|2H|/100)μm H:测量高度 |
- |
| 测定分辨率 |
0.1μm/50mm |
1000μm/0.01μm – 6.4μm/0.0001μm |
| X轴指示精度 |
±(1+0.01L)μm L为测量长度(mm) |
- |
| 测定分辨率 |
0.016μm |
100mm/0.04μm 或32,000点 |
| 直线精度 |
1μm/100mm |
(0.05 +1L/1000)μm L=测量长度(mm) |
| 记录 |
纵倍率 |
0.01--10,000,000倍(可任意选择或自动选择) |
50--500,000倍(可任意选择或自动选择) |
| 横倍率 |
0.01--10,000,000倍(可任意选择或自动选择) |
0.1--20,000倍(可任意选择或自动选择) |
| 速度 |
立柱上下(电动) |
3--10mm/s |
3--10mm/s |
| 驱动速度(X轴) |
0.03--60mm/s |
0.03--60mm/s |
| 测量速度(X轴) |
0.03--20mm/s |
0.03--20mm/s |
| 传感器 |
Z轴(纵方向) |
光栅尺 |
差动变压 |
| X轴(横方向) |
光栅尺 |
光栅尺 |
| 最小测量距离 |
0.1μm |
|
| 最大测量点数 |
100,000点(最多10形状) |
32,000点 |