| 机器测量范围 |
|
轮廓仪 |
粗糙度仪 |
| Z轴（纵方向） |
50mm |
±500μｍ |
| X轴（横方向） |
100mm |
100mm |
| 精度 |
Z轴指示精度 |
±(1.8+|2H|/100)μｍ H：测量高度 |
- |
| 测定分辨率 |
0.1μm/50mm |
1000μm/0.01μm –
6.4μm/0.0001μm |
| X轴指示精度 |
±(1+0.01L)μm L为测量长度(mm) |
- |
| 测定分辨率 |
0.016μｍ |
100mm/0.04μｍ 或32,000点 |
| 直线精度 |
1μｍ/100mm |
(0.05 +1L/1000)μm L=测量长度(mm) |
| 记录 |
纵倍率 |
0.01--10,000,000倍（可任意选择或自动选择） |
50--500,000倍（可任意选择或自动选择） |
| 横倍率 |
0.01--10,000,000倍（可任意选择或自动选择） |
0.1--20,000倍（可任意选择或自动选择） |
| 速度 |
立柱上下（电动） |
3--10mm/s |
3--10mm/s |
| 驱动速度（X轴） |
0.03--60mm/s |
0.03--60mm/s |
| 测量速度（X轴） |
0.03--20mm/s |
0.03--20mm/s |
| 传感器 |
Z轴（纵方向） |
光栅尺 |
差动变压 |
| X轴（横方向） |
光栅尺 |
光栅尺 |
| 最小测量距离 |
0.1μｍ |
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| 最大测量点数 |
100,000点（最多10形状） |
32,000点 |
