最小可检漏率：4×10¯12Pa·m3/s

检漏测量范围：1×10¯12Pa·m3/s～1×10¯6Pa·m3/s

检漏口压强：100

检漏响应时间：2S

系统真空度优于：1×10¯4Pa

仪器外形尺寸：525×405×420（L.W.H.）