本系统主要有真空机械泵、分子泵、真空测量规、真空阀门和机架组成。
本系统为预抽高真空系统，极限真空5.0E -5Pa.主要特点，更换工件或充气的情况下无需停止系统，可多工位同时预抽。
主要用途：镀膜机真空系统，可去除机架，灵活安装。
                     真空炉真空系统
                    激光管多工位预抽真空系统
                    太阳能多工位预抽真空系统
                   半导体多工位预抽真空系统

优        点：可实现半自动电脑程式控制；启动时间短、噪音低、无污染。带有暴大气预警系统，体积小，机架带有脚轮移动灵活方便，可根据客户需要做成多种外形以便用于不同工作场地。管道连接件也可根据客户需要制作成多种大小不一、连接方式多样化满足多种真空系统所需。

注：可来样订制，或说明所需外型、带抽工件情况、工作场地情况等一对一完美订制。