一、技术规格： 

二、产品特点：

1.外观简洁大方,整机采用PLC控制，易于操作，性能稳定；

2.功能：通过喷洒出微小且高压力的纯净水将切割后的晶圆清洗干净。

3.通过更改参数自适应3、4、5、6、8英寸的晶圆；

4.通过更换台盘能适应标准6”和8”框架（Frame）；

5.出水压力可调，范围：2.0~11.8MPa（20 ~ 120 kgf/cm2）；

6.主电机采用AC变频电机，摆臂电机采用伺服电机。

7.可分开调节喷水和喷气时主轴旋转速度，范围：0~3000 rpm；

8. 采用彩色触摸屏作为人机操作界面；

9.喷头喷洒范围可自动根据设定的晶圆大小调节，无需人工干预；

10.具有气体压力和出水压力调节功能；

11.具有氮气输入接口；

12.具有“紧急停止”功能；

13.具有系统运行状态监控和设备故障报警功能；

14.适应晶圆尺寸：3、4、5、6、8英寸；

15.适应框架（Frame）：标准6、8英寸（可根据最终用户样品设计台盘以适应非标准的Frame）；

16.电器部分采用SMC、Orientalmotor, Misumi、西门子、三菱等知名品牌产品，系统可靠；