【立式扩散炉退火炉科研炉青岛晨立】价格_厂家

品牌

晨立

型号

CL

类型

其他

加工定制

用途

氧化、扩散、烧结、合金

机架材质

不锈钢

工作台板材质

不锈钢

工作台尺寸

3000mm

输送带材质

不锈钢

输送带尺寸

2000mm

外形尺寸

5000mm

重量

2000kg

工作温度

400-1200

工艺管口径

90-360mm

　　扩散炉系列
　　设备用途：用于大规模集成电路、太阳能电池片、电力电子、光电器件、光导纤维等行业的氧化、扩散、烧结、合金等工艺。
　　设备特点：单元组合方式。根据工艺的不同，可以在主机的基础上配气源柜、超净工作台、悬臂推拉舟等。
　　
　　主要技术指标：
　　★炉管数：1〜4管
　　★配工艺管口径：Φ90〜360 mm（3〜12英寸）
　　★恒温区长度：760〜1000 mm±1.0℃（300〜800℃）
　　760〜1000 mm±0.5℃（800〜1280℃）
　　★单点稳定性：±1.0℃／24h（300〜800℃）
　　±0.5℃／24h（800〜1280℃）
　　★气源路数：≤7路，可配恒温源瓶、氢氧合成点火器
　　★气体控制：浮子／质量流量计
　　★悬臂舟参数：速度：20〜1000 mm／min
　　行程：2000 mm
　　定位精度：±1 mm
　　载荷：17 Kg
　　★超净工作台：净化等级：100级（万级厂房）
　　噪音：≤62dB（A）
　　振动：≤3μm