该装置包含真空泵,真空表,相关阀门,管路等
配备管道气体减压器
真空度:-0.1—0.5mpa 精度:1.5级
功率:2.2kw 抽气速率:15L/s
氮气压力:6—10mpa 使用压力:0.4mpa
工位数:4工位 置换后可燃气体含量:<2%
气体减压器进口压力:≥15mpa
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