验台概述目前的线性模组的误差主要来自于其本身的几何结构误差、弹性变形误差、热变性误差以及丝杆导轨等机械磨损引起的误差。基于此，对于精度要求高的XY运动平台，一般需要安装光栅尺实现全闭环控制，取代传统的半闭环控制，从而实现高精度要求。HS3030精密定位工作台在其底座上装入2根并行的20直线导轨，基座与滑动台搭配，实现了高刚性和负载容量。对负载负荷的变位量小，用于搭载物的质量或外部负载变动的用途也能依然保持高稳定性。进给机构采用研磨级的精密滚珠丝杆，并列装入两组直线导轨，实现了稳定的高行走精度、定位精度和大搭载质量，该结构承受力矩及复合负荷较强。在工作台位置安装光栅尺作为最终的位置反馈最终实现了极高精度的定位工作台。本控制系统接光栅尺构成全闭环控制,精度高,免除了丝杆,导轨和机械的误差,定位精度能可靠的控制在正负0.01mm.性能技术参数XY运动平台参数如下：1）有效行程X轴300毫米，Y轴300毫米2）线性模组宽度：200mm；3）研磨级16或20滚珠丝杆，导程：5毫米或者10毫米4）20的直线导轨，采用ABBA或台湾上银；5）高性能电机驱动器；6）安装1um高精度光栅尺用于位置反馈；7）每条模组配2个极限开关，一个原点接近开关，一个原点开关，更加可靠地保证了回原点的一致性；8）联轴器：选配TBI9）定位精度0.01毫米及以下，重复定位精度0.005毫米 HS3030精密定位平台系列是精密加工技术和电子工学相结合的产物。在平台底座和工作滑台之间组装上直线导轨、滚珠丝杆、1um解析度的光栅尺、丝杆支撑座、联轴器和电机组成精密定位工作平台。可广泛应用于适合自动化及光电产业和半导体产业等很多精密器械的定位机构。