真空预压气浮轴承结合使用气压及真空，从导轨上浮起并同时吸附在导轨面上。可通过分别对真空及压力进行调节达到优化真空预压气浮轴承的浮动高度及刚性的效果。

    应用：

       1.晶圆定位

       2.晶圆探测

       3.晶圆凸点技术

       4.自动光学检测

       5.精确校对

       6.垂直对调节

       7.测试及修复

    市场：

       1.半导体

       2.测试及测量

       3.光学

       4.平板印刷