L6514-64J/RZQ全功能微控扩散系统
 产品简介：
该系统式生产半导体器件和大规模集成电路的重要工艺设备,广泛应用于半导体器件的扩散、氧化、退火、烧结等工艺，也可用于磁性材料的烧结及机械行业的淬火、冶金行业的烧结。
控温采用最新研制的高精度电脑控制系统，产品质量可靠，控制稳定，操作简单，维修方便。
 产品特点
工艺温度段数：1—14段，可选段运行
单段时间范围：1—1080min/斜变段 1—9999min/恒温段
三个温度测控回路独立修正温度测量值
三个温度测控点独立修正温度测量值
PID参数，温度修正量可在线修改
温度设定单位：℃  分辨率：0.1℃
工艺段时间设定单位：min，分辨率1min
各类工艺数据断电后长期保存
工艺气体流量，推拉舟运动状态有微机实行闭环控制
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