三丰三次元软件升级COSMOS2.4中文版

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    1. 前言
    随着近年来机床加工精度的迅速提高，工件的测量精度也达到了前所未有的新高度。为满足测量仪器用户的需求，测量精度等级也正在从微米级向亚微米级，甚至纳米级发展。










    面对这种挑战，三丰开发出LEGEX系列超高精度三坐标测量机，并作为下一代三坐标测量机的一种尝试投放市场。以下将结合LEGEX系列产品的规格和性能特点，对LEGEX开发过程中使用的一些基本技术进行介绍。
    2. 如何实现超高精度
    2-1 基本结构
    为确保测量精度，采用固定桥式•可移动式工作台，以最大限度地减少阿贝偏置误差。同时采用FEM分析，从而确保实现最佳产品结构。
    2-2 长度测量技术
    作为长度测量系统的3个基准轴上搭载了最小分辨率0.01μm的新开发的线性编码器系统，和具有0.01x10-6/oC超低线性膨胀系数的晶体玻璃尺。因为晶体玻璃尺的热膨胀系数几乎为0，并且相当耐热，从而确保能够实现超高精度。在图2中图示出其检测原理。

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