兆声波精密清洗系统

                  兆声波发生器 MEG amplifier                                  兆声波震板 MEG Plate

1、Megasonic Cleaning is a type of acoustic cleaning, related to ultrasonic cleaning.

  It is a gentler cleaning mechanism, less likely to cause damage,

 and is used in wafer, medical implant, and industrial part cleaning.

兆声波清洗是跟超声波相关的一种声学清洗方法。

它有着比较温和的清洗机制，不大会导致损坏，

被用于圆晶、医学移植和精密工业零件清洗。

2、Megasonic energy is of a higher frequency (800–2000 kHz) than typical ultrasonic cleaners (<100 kHz).

As a result, the cavitation that occurs is gentler and on a much smaller scale.

兆声波能量的频率（800k到2000k赫兹）比典型的超声波（<100k赫兹）要高。

因此，产生的空化就会更温和更小了。

3、Megasonic cleaning principle is by high frequency vibration effect to promote the solution of molecules to the speed of movement of 300mm / s, forming a high-speed liquid wave continuous impact the workpiece surface, while the contamination of the surface and the fine particulate removal, and into the cleaning solution.

兆声波清洗的原理是通过高频的振动效应，推动溶液分子以300mm/s的速度运动，形成了高速液体波连续冲击工件表面，同时将表面的沾污和细小微粒去除，并带入清洗溶液中。

新一代兆声波MEG-11的特点（研发中）

·   相位排列可调控；

·   能量均衡、均匀地清洗掉颗粒；

·   双曲线相位切换；

·   由于使用模组化的方法，平均的维修时间是 <5分钟；     

·   容易维护；

·   购置成本低；

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MEG-11 at a glance 参数一览表 Tank Materials 槽体材质 Frequency Options 频率选择 Temperature 温 度 Power 功 率 Quartz  石 英 400 kHz Up to 100oC 最高到100oC           > 6 Watts/cm2 > 6瓦/ cm2           Aluminium 铝 600 Khz  Stainless Steel 不锈钢 900Khz Sapphire 蓝宝石 1.4MHz ComDOM 1.8MHz Vitreous Carbon 玻璃碳纤维 2.2MHZ   Custom 定做

通过个人电脑远距离监控系统；

·   HSMS (高速信息传送服务)；

·   VNC (虚拟网络连接)；

·   FEATURES of the New Megasonic: MEG-11:

·   Frequency Sync；

·   Multiple frequency sources allow for active phase shifting；

·   Homogenized energy and uniform particle removto maintain；

·   Low cost of ownership；