扩散炉

产品简介

设备用途：半导体器件、太阳能电池片、电力半导体。

设备特点：采用积木式组合、控温器、推拉舟、流量计、阀门有多种不同配置供用户选择。

镓扩扩散炉

主要技术指标

扩散炉组机、推拉舟及层流净化台

源柜、排毒柜、微机控制柜

扩散炉管数：1~3管/台

炉管内径：90~240mm（2寸-6寸）

恒温区长度：600~1000mm±1℃（300~800℃）

600~1000m±0.5℃(800~1250℃)

单点稳定性：±1℃/24H（300~800℃）

±0.5℃/24H（800~12500℃）

气源路数：5路

气源控制：MFC或浮子流量计

推拉舟速度范围及精度:（1~1000）±3mm/min

控制器采用欧姆龙触摸屏和PLC控制

关于我们

襄阳仪波达微电子设备有限公司（简称襄阳仪波达），是一家集科研、制造、销售、服务为一体的高新技术企业，由一批具有丰富技术经验的和敬业精神的优秀团队所组成，是我国微电子专用设备生产厂家之一。