直线电机动子	连续推力：91N
	连续电流：2.0A（rms）
	瞬间推力：273N （1s）
	瞬间电流：6.0A A（rms）（1s）
光栅尺	光栅尺分辨率：1um
直线电机工作台	运动跟随误差：±10um
	最大运动速度：550mm/s
	最大加速度;4500mm/s2
	直线电机工作台行程：350mm*260mm
工业相机	分辨率：2592*1944 500W像素 USB2.0接口
工业相机	视场范围：240mm*180mm
气源	气源气压：≥0.7MPa
供电方式	三相 220VAC/380VAC 50HZ
供电方式	单相 220VAC 50HZ
整机能耗	平均功率：3KW
加工效率	平均加工效率：400片/小时