ZLDS/N-100具有100微米的量程和15纳米的分辨率,是一款非接触式高精度光学位移传感器。其起始测量距离为3mm,对于被测体有较宽的适用范围,比如金属,半导体和玻璃。该传感器可以很容易与现有设计相接合,而且具有较大的基准距,其测量精度实际相当于一个高分辨率的电容传感器。对于定点测量,振动测量,表面轮廓测量,ZLDS/N-100都是一款理想的测量工具。
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应用领域 |
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应用于光盘、硬盘的在线检测,还可以应用于电机等强磁场测振和表面轮廓测量。 |
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主要特点 |
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高分辨率,可替代电容式传感器; |
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对电磁场不敏感,可用于电机等强磁场测振; |
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宽频带,可测高频振动体; |
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对被测体表面要求低,反射率4~100%均可用; |
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技术规格
安装尺寸
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技术参数 |
ZLDS/N-100 |
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量程μm |
100 |
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分辨率nm |
15 |
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线性度μm |
±5 |
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重复性nm |
±75 |
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信号接收范围μm |
±400 |
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带宽KHz |
100 |
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允许表面反射度% |
4~100 |
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传感器探头基准距mm |
3.0 |
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垂直容忍度 |
±0.1° |
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供电 |
±12VDC @80mA |
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传感器体长mm |
58.7 |
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测量点直径μm |
100 |
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控制器尺寸mm |
98x32x13 |
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电缆长度mm |
460 |
◆技术规格可按客户要求定制。 ◆我们保留规格变化而不另行通知的权利。 |