气浮导轨
联系人:樊振华
手机:18201099680
Q Q: 305786592
邮箱:fzh091125@163.com
气浮导轨作为运动机械的一部分,通常与伺服驱动,传感器组成闭环系统,实现位移的高精度,高分辨率.
为客户提供高刚度、高扭转刚度、高承载矩形导轨,可以提供快速定制服务。
采用国内外领先的不堵塞设计,出厂前已调整到最佳状态,不出现气振、适应国内气源、运动可靠、可维修。
根据需要,中间方规材料可以是:1)特种铝合金、2)花岗岩、3)钢材、4)其他材料
公司的独特技术在于:在节流孔不易堵塞的情况下,承载能力和导轨刚度非常好
使用用途:测量机Z和Y轴、空间模拟、实验测量装置、半导体设备、PCB设备、光刻机、组合XYZ工作台和微动台等
由于空气轴承导轨精度要求很高,对长行程或组合使用场合,客户直接买来自己组装工作台,我们可以为客户做整体的气浮平台。
建议如下:
1,小型、短行程、和垂直使用的矩形气浮导轨,客户可以直接买来用,但要注意安装基准面。可咨询我公司。
2,长行程和组合使用,建议直接向我公司订购组件或工作台,
3,这项产品基本上是订制生产,但我公司可以提供快速定制服务。
我们专注于精密运动控制系统集成,专注于气浮系统的开发与研究,专注于直线电机多轴气浮平台,专注于音圈电机多轴气浮平台等等运动控制系统集成产品。
同时提供:步进电机系统;直线电机;音圈电机;DD马达,力矩电机;超高温,低温,真空,防爆步进电机以及伺服电机;海德汉光栅尺,雷尼绍光栅尺,Jena光栅尺等工业自动化全套产品,承接各种各种精密运动控制平台开发与设计。
高精度直线电机,音圈电机气浮平台,多轴气浮精密平台,在工作中要求达到亚微米级的运动精度,。直线电机气浮精密运动平台,对气浮导轨设计、直线电机控制等关键技术进行了研究. 采用有限元设计法设计了气浮导轨,采用该方法设计的气浮导轨具有较高的承载能力和刚度. 提出一种改进的PID控制策略, 从而改善直线电机运动平台的抗干扰能力, 并使其获得较高的稳态位置精度. 实验结果显示, 在采用这种控制方法后, 直线电机气浮精密平台的定位精度可达亚微米,甚至是纳米级的精度要求。
双边直线电机驱动的H 型气浮精密定位平台,对该精密定位系统的气浮导轨设计方法和双边直线电机同步运动控制等关键技术进行了研究。利用有限元法设计了气浮导轨,分析了气膜压力场的分布情况,采用预加载技术提高气浮导轨的承载能力和刚度等性能。静态特性实验表明,开发的定位平台气浮导轨具有较高的承载能力和刚度,设计了基于同步速度偏差的改进型并联结构同步控制器,采用模糊控制实现PID 参数的自适应在线整定。运动实验表明,改进的控制器具有较高的同步控制精度,速度同步精度比一般同步控制提高了3 倍多,适合于具有强机械耦合的多电机同步运动控制。H 型直线电机气浮定位平台具有承载能力强、精度高的优点,可以用于光刻机和光学检测等精密工程领域。
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