技术规格安装尺寸
参数 | 符号 | 值 | 单位 | 备注 | 静态参数 | | | | | | | | | 最小 | 标准 | 最大 | | | 材质 | | 特种不胀钢 | | | 尺寸 | | 53.5(长)x 60(直径) | mm | | 线缆长度 | | 1000 | mm | | *范围 | dzp·max | ±0.8 | um | ① | *比例因子 | Bz1 | | 1 | | um | ② | *比例因子误差 | δbz1 | | 0.05 | 0.1 | % | | 共振频率(空载) | f0·0 | | 8000 | | HZ | | 最大负载 | | | | 15 | kg | | 动态参数 | | | | | | | | | 快 | 中 | 慢 | | | *位置嗓音 | δZp·n | | 0.2 | 0.3 | nm | ③ | 转换速率 | Uzp·max | | 0.1 | | um/ms | ④ | 误差 | | | | | | | | | 最小 | 标准 | 最大 | | | *磁滞(峰峰值) | δzp·hyst | | 0.02 | 0.03 | % | ⑤ | *线性度(峰值) | δzp·lin | | 0.01 | 0.02 | % | ⑥ |
注意: *这些参数由各转换器实测并提供的。 ①、所有的位置命令单位是每微米7个数字分辨率。
②、这是测量值与实际值之间的差别。 ③、实际的位置嗓音。 ④、变换位置的最大速率,这受闭环参数的限制。 ⑤、位移的百分比,意思是位移为1um则磁滞小于0.1nm。 ⑥、线性误差为满量程的百分比。  |