SC-3微型固定频率谐振光扫描仪是体积最小的机械扫描仪。机电驱动反射镜运动，以连续正弦运动实现光束偏转。反射镜装在发条弹簧的中心。SC-3型扫描仪扫描频率范围从100Hz至1kHz，固定在这个范围内的任意一个频率。扫描角度与频率成反比，与反射镜的大小有关。标准工作温度为0℃至55℃。可根据需要提供其它温度范围，或在真空运行的产品。

     设备“Q”高，具有良好的频率稳定性和较低的功耗。抗弯刚度高能够承受一定的冲击和振动，晃动小，扫描重复性好。由于以固有频率谐振，该装置可广泛用于需要长寿命运行的应用，获得高质量的成像，失真最小。扫描仪尤其适用于专业量大的OEM工业应用。SC-3型扫描仪易于集成到体积小的便携式仪器中。

     使用正反馈放大器实现扫描仪谐振频率下运行，型号ED驱动或AGC驱动。AGC驱动具有很高的振幅稳定性（0.01%），输出位置信号。

     应用领域：荧光显微镜，共聚焦显微镜，半导体成像，成像模式识别，网络检测，生物成像，质量检验，工艺验证，掩模检验，机器视觉，外层空间和环境研究等等

     频率范围100Hz至1kHz，根据下表选择合适的型号：

扫描仪型号	扫描角  (P-P DEG OPT)	反射镜大小  (mm)	频率  (Hz) +/- 10%
SC-3-2	50°	6 dia	250
SC-3-2	50°	7x7	180
SC-3-2	50°	12x7	110
SC-3-3	40°	6 dia	400
SC-3-3	40°	7x7	285
SC-3-3	40°	12x7	180
SC-3-4	30°	6 dia	600
SC-3-4	30°	7x7	430
SC-3-4	30°	12x7	265
SC-3-5	20°	6 dia	830
SC-3-5	20°	7x7	600
SC-3-5	20°	12x7	385