JJK的5MHz和6MHz的银、金、或银铝合金电极晶控片(晶振片),采用高品质因素、低腐蚀隧道的右旋的石英晶体。
2.AT切型和平凸基片:
JJK采用AT切型的石英晶体基片,以保证晶控片(晶振片)本征频率的温度稳定性。JJK的石英晶体基片采用平凸设计,即晶片的一面是平面另一面是规定屈光度的凸面。平凸设计能够大幅度抑制主振动模以外的杂散振动模式,从而减少沉积速率和膜厚控制过程中可能发生的频率跳变现象。
3.万级净化室:
JJK晶控片(晶振片)的清洗、镀膜、测试到包装,全程在万级净化室内完成,从而保证了晶控片(晶振片)的关键指标,并最大限度地保证了晶控片(晶振片)的质量稳定性。
4.金、银、银铝合金电极:
金电极晶控片(晶振片)适合大部分的应用,它具有低接触电阻,高化学温定性。金电极晶控片(晶振片)最适合于低应力材料的镀膜监控,如金,银,铜的膜厚控制。
银电极有非常低的接触电阻和优良的塑变性。银电极晶控片(晶振片)适合在热负荷高的工艺(如溅射)中提供优越的性能。
银铝合金晶控片(晶振片),适合高应力膜料的镀膜监控,如SiO,SiO2,MgF2,TiO2等。