仪器技术指标
最小可检漏率:4×10¯12Pa·m3/s
检漏测量范围:1×10¯12Pa·m3/s~1×10¯6Pa·m3/s
检漏口最大压强:100
检漏响应时间:2S
系统真空度优于:1×10¯4Pa
仪器外形尺寸:525×405×420(L.W.H.)
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