相移剪切电子散斑干涉仪
TS-SS-P
技术参数及图例：
1.光源：半导体激光器，功率50mW，波长 532nm
2.定焦镜头： C接口, 配进口25mm定焦镜头
3.相机： 1280×1024 USB摄像头
4.工作距离：400～1000mm
5.光学平台：600mm×900mm
6.图像采集分辨率：1280×1024
7.实时条纹显示速度：25帧/s
8.剪切角： 0°±5°连续可调
9.软件： 条纹实时显示，位相分析处理
10.演示试件： 圆盘受均布载荷
11.相移器：10nm
12.相移控制精度：0.01V
主要配置
主机：1台
25mm定焦镜头：1个
50mW固体激光器：1台
400mm*900mm光学平台：1套
三脚架：1个
相移控制器：1套
圆盘受均布载荷试件：1套
笔记本电脑：1台
条纹实时显示软件和相移处理软件：各1套
原理示意：
剪切散斑的基本原理是散斑照相和剪切机理的结合，它是在散斑照相的基础上，通过不同的错位元件，把单光束散斑变为双光束散斑，因而它具有双光束散斑的特性，即原始波面与错位的波面之间将产生干涉。
离面位移梯度测量原理如图2所示，物体A的散斑场经过小剪切棱镜、偏振片和CCD的物镜，在CCD摄像机的靶面上形成两幅错位量为Δ的像，并在CCD靶面上相干涉。
使用方法：
用均匀的白光作为光源照射在被测物表面，为了便于观察，可将标定纸（图示带有“十”字的卡片）贴在被测物表面，在计算机显示屏上观察并同时调节物距使成像清晰，如图示在错位棱镜的光路中十字形错开成两个像。
将白光光源关闭，打开激光器电源使得其出光。调节扩束镜，使光均匀扩散在试件表面，将贴在试件上的标定纸拿下，分别采集变形前后干涉图像并实时相减，即可获得全场离面位移导数图像。
实验案例：铝蜂窝板激光散斑检测实验
本次实验用的蜂窝板是铝蜂窝板，先后买了厚度为17.45mm和8.5mm的蜂窝板，14.5mm厚的铝蜂窝板尺寸大小为：长（150mm）；宽（100mm），外边已镶好。8.5mm厚的铝蜂窝板尺寸大小为：长（250mm）；宽（200mm），外边未镶。如图：
实验步骤：
1.调整仪器设备至正常工作状态；
2.将蜂窝夹芯板固定在实验台上，激光器发出的激光经扩束镜扩束后完整覆盖夹芯板，调整剪切散斑位置，使CCD视野清晰并完整覆盖夹芯板；
3.采用热加载的方式，热源为大功率电吹风，加热使蜂窝板产生离面微变形；
4.在室温下自然冷却，冷却过程中采集散斑干涉条纹图。
实验结果及分析
1、14.5mm厚铝蜂窝板实验结果
可以看出，缺陷部位并没有被测试出来。由此可分析可能由于此蜂窝板太厚，或蜂窝纸与铝板连接的胶水太薄，导致即使去除了蜂窝纸与铝板的连接，影响结果也不是很大。故实验结果不明显。
2、8.5mm厚铝蜂窝板实验结果
（1）在图示部位给蜂窝板制造出长为33mm的缺陷，测得的图形为：
（2）在图示部位给蜂窝板制造出48mm的缺陷，测得的图形为：
经过这两种试验结果的对比，对于厚度较薄的蜂窝板，实验效果明显可见。
注:要想能够顺利检测出待测物的缺陷，要满足加载后（机械、热、高音频或真空加载）材料不仅能够产生离面位移，而且缺陷两侧材料要能够产生不同的程度地离面位移，才能检测出缺陷的部位，大小。
应用范围
一般表面变形测量；离面位移测量；面内应变测量；残余应力测量；缺陷检测；密封情况评估；气体泄漏探测……
