商品详细
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产品纯度及杂质含量 |
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氨 |
≥99.9995% |
≥99.99995% |
≥99.99999% |
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Oxygen(+Argon)氧(+氩) |
≤0.5 ppm |
≤0.05 ppm |
≤5 ppb |
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Nitrogen(氮) |
≤1.0 ppm |
≤1.0 ppm |
≤10 ppb |
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Carbon Monoxide(一氧化碳) |
≤0.5 ppm |
≤0.05 ppm |
≤10 ppb |
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Carbon Dioxide(二氧化碳) |
≤0.5 ppm |
≤1.0 ppm |
≤10 ppb |
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Hydrogen(氢) |
≤0.5 ppm |
≤0.05 ppm |
≤10 ppb |
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Water(水) |
≤1.0 ppm |
≤1.0 ppm |
≤50 ppb |
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THC(总碳氢) |
≤1.0 ppm |
≤0.05 ppm |
≤5 ppb |
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包装 |
容积 |
装量 |
连接接口 | ||||
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小钢瓶 |
40L/47L |
22kg |
CGA660，DISS720 | ||||
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Y瓶 |
440L |
230kg |
DISS720 | ||||
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T瓶 |
944L |
480kg |
DISS720 | ||||
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ISO槽车 |
22.5Nm3 |
11ton |
2" Valve | ||||
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电子工业用气体 氨（GB/T14601-2009) |
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项目名称 |
电子级 |
光电子级 |
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氨（NH3）纯度（体积分数）/10-2 ≥ |
99.9995 |
99.99994 |
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氧（O2）含量（体积分数）/10-6 ＜ |
1 |
0.1 |
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氮（N2）含量（体积分数）/10-6 ＜ |
1 |
— |
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氢（H2）含量（体积分数）/10-6 ＜ |
— |
0.1 |
| |||
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一氧化碳（CO）含量（体积分数）/10-6 ＜ |
1 |
0.05 |
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二氧化碳（CO）含量（体积分数）/10-6 ＜ |
— |
0.1 |
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烃（C1～C3）含量（体积分数）/10-6 ＜ |
1 |
0.05 |
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水分（H2O）含量（体积分数）/10-6 ＜ |
3 |
0.2 |
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总杂质含量（体积分数）/10-6 ≤ |
5 |
0.6 |
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应用：晶圆清洗、在CVD过程中生成氮化硅或氮化镓等薄膜
高纯氨气的应用
合成氨气用于制造氮肥等化工原料
工业氨气用于氨分解制氮氢混合气体
液氨用于电厂等工厂氨制冷系统的制冷剂（R717）
液氨用于有机合成
高纯氨气用于LED电子行业的氮源
高纯氨气跟硅烷、高纯氩气用于薄膜太阳能电池制造
高纯氨气注意事项
高纯氨气是强腐蚀性有毒物质，对皮肤和眼睛有强烈腐蚀作用，产生严重疼痛性灼伤。高纯氨蒸气强烈刺激呼吸道粘膜和眼睛，对呼吸有窒息作用。受高纯氨损伤的皮肤应立即用清水冲洗，然后以3%～5%的硼酸、乙酸或柠檬酸溶液湿敷。严重时应立即请医生处理。
高纯氨气吸入人体，少部分为二氧化碳说中和，余下的进入血液，主要与血红蛋白结合，破坏血液运氧功能。短期内吸入大量氨气后会出现流泪、咽痛、咳嗽、胸闷、呼吸困难、头晕、呕吐、乏力等。若吸入的高纯氨过多，导致血液中氨浓度过高，就会通过三叉神经末梢的反射作用而引起心脏的停搏和呼吸停止，危及生命。
使用高纯氨气前，应给氨气管道进行氮气试压、氦气保压及肥皂水试漏，确保氨气管道不泄露。工作环境保持通风。需要有2人同时操作，以应对突发状况。
氨气钢瓶瓶颈上有钢瓶检验时间，不符合要求的钢瓶应委托谱源气体等经销商到有资质的压力容器检验单位进行检验。严禁使用过去钢瓶。
灌装液氨的钢瓶或槽车应符合国家劳动局颁发的“气瓶安全监察规程”、“压力容器安全监察规程”等有关规定。液氨的充装系数为0.52kg/L。装运液氨的钢瓶和槽车必须符合中华人民共和国交通部制订的《危险货物运输规则》，运输过程中应避免受热，严禁烟火。钢瓶必须有安全帽，瓶外用橡皮圈或草绳包扎，防止激烈撞击和震动。
高纯氨气钢瓶应存放于库房或有棚的平台上。露天堆放时，应以帐篷遮盖，防止日光直射。主要由危险品运输车辆运输。短距离移动钢瓶时应使用钢瓶专用手推车。
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