产品介绍：

MASGEL-S300太阳能电池专用硅片扩散炉主要满足光伏电池生产线对125mm×125mm、156mm×156mm多晶硅、单晶硅硅片进行扩散工艺。目前有第二代闭管扩散炉以及第三代软着陆扩散炉。
 
  技术指标： 
  MASGEL-S300太阳能电池专用硅片扩散炉可处理硅片尺寸：125mm×125mm、156mm×156mm 
  MASGEL-S300太阳能电池专用硅片扩散炉外型形式：卧式1—4管结构 
  MASGEL-S300太阳能电池专用硅片扩散炉载片量：400片／管 
  MASGEL-S300太阳能电池专用硅片扩散炉扩散方式：闭管扩散、软着陆全封闭 
  MASGEL-S300太阳能电池专用硅片扩散炉工作温度：200℃—1300℃ 
  MASGEL-S300太阳能电池专用硅片扩散炉恒温区长度及精度：200mm—1100mm≤±1℃ 
  MASGEL-S300太阳能电池专用硅片扩散炉单点温度稳定性、重复性： ≤±1℃／24h 
  MASGEL-S300太阳能电池专用硅片扩散炉温度控制：5段控温 
  MASGEL-S300太阳能电池专用硅片扩散炉总功率：120KwA 
  MASGEL-S300太阳能电池专用硅片扩散炉送片装置：悬臂推拉舟，碳化硅桨最大载重17kg 
  MASGEL-S300太阳能电池专用硅片扩散炉气路系统：1—5路工艺气体／管 
  MASGEL-S300太阳能电池专用硅片扩散炉气体控制：进口MFC 
  MASGEL-S300太阳能电池专用硅片扩散炉控制方式：工控机、触摸屏 
  MASGEL-S300太阳能电池专用硅片扩散炉加工周期：60日
  Thinnerwafers：180Um
  Break rate：0.8％
  方阻均匀度范围：片内±3％，片间±3％，批间±5％

青岛曼什微电子设备制造有限公司| MASGEL