超高压UV灯（USHIO）
在与设备商之共同开发体制的背景之下、迎合设备制造厂各种需求、开发出获得且值得信赖的曝光制程用UV灯。100w～35kw等级、产品系列齐全，是最适合提高产能、并改善良品率等的光源提案。此外、顾客新设备的开发方面，我们亦配合开发适用的灯具。
特征：
- 最适合曝光制程的紫外线波长
在紫外线波长中，USHIO的超高压UV灯仍可有效运用3线（436nm?405nm?365nm)波长,是长效型、且具有稳定放射照度的高亮度光源。 - 发挥光学系最大性能的点状光源
弧形大小极接近点状光源，易于集中与扩散光学系统上的光，因此可以得到均匀的照度分布。 - 配合半导体、液晶?彩色滤光片?PDP以及印刷基板用线路成形等各种用途的灯输出
因应回路与类型烧付照度需求的提高、小型（100w级）～超大型（35kw级）为止、适用各尺寸的灯具。 - 发挥现有设备最大性能的高照度
因应现有设备Throughput提高的需求、即使仅使用高照度灯、亦可望确实提高产能。
※部分设备商产品则必须实施设备改造。 - 对应需求波长的灯具开发
配合顾客新设备的开发，开发出最适合的灯具。详情请洽询
用途：
- 半导体回路形成用光源
- 液晶回路形成用光源
- 彩色滤光片回路形成用光源
- 电浆显示器回路形成用光源
- 印刷电路板回路形成用光源
- MEMS回路形成用光源
- 检查用光源
- 其他新的曝光用途等
