钟罩Dome：会用在反应器系统内，且电浆或是化学气体有时会在此停留，故在钟罩的材质使用上需特别注意耐酸碱耐腐蚀，因此目前有许多半导体设备上所使用之钟罩采用陶瓷材质，钟罩之外表也可以配合另外Coating 其他金属材质。或本司金属钟罩可做陶瓷表面处理。

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