OX400低浓度氧化锆氧分析仪
产品信息
横河电机最新推出的氧分析仪OX400，是公司在该技术的长期经验积累和优秀业绩基础上研发出来的。
低浓度氧化锆氧分析仪OX400的氧化锆传感器中采用了新型薄膜沉积专利技术，在氧化锆元素和铂层间建立了分子联接。这样不仅预防剥离，还可以减小传感器尺寸，确保高速响应和长寿命。
低浓度氧化锆氧分析仪OX400可用于控制和监视各种半导体应用，并控制环境，空气泄漏入惰性气体及其他过程。
- 用于半导体扩散炉和烘干炉，以及LCD制造工艺中的氧气浓度控制
- 用于控制锡焊炉气流和回流炉中气体的氧气浓度，以及电子制造中使用的手套箱和气体生产工艺中氧气浓度的测量
- 测量氧气浓度，防止粉尘运输中粉尘爆炸
特性
使用寿命长，响应速度快
- 由于使用了横河电机的新型薄膜沉积专利技术，传感器的寿命周期提高了三倍
- 圆柱形传感器设计便于置换被测气体，确保高速响应
高性能和高可靠性
- 即使在低氧浓度下，仍具有极高的精度和线性
- 在不同应用中，可选择泵式或抽提采样方式
内置功能和多种自诊断功能
- 自带多选择器，自动量程，特定量程以及泵开/关功能
- 提供多种自诊断功能，以检测故障，如加热器温度错误，温度传感器断偶和传感器电阻值错误
出众的维护性
