真空炉专用氮气净化机
真空炉专用氮气纯化装置、氮气纯化器 本系列氮气净化机主要用于高纯材料的生产保护气氛,也可用于一些氮化物如氮化镓的生产用气,尤其广泛的应用于金属材料、机械零部件的热处理保护气氛。
净化原理
该系列设备利用催化剂与氧气反应生成氧化物的原理除去氮气中的杂质氧气,再利用吸附剂吸附脱除氮气中的H2O、CO2等杂质,从而得到高纯氮气的。
氮气纯化装置的技术参数
对原料氮气要求
一般瓶装纯氮,液氮、控制较好的管道氮气。
杂质要求: O2≤1000PPm, H2O≤1000PPm。
输出纯气
纯度:99.9998%
杂质含量:
O2≤0.5PPm,
H2O≤1PPm(即露点≤-76℃),
CO+CO2≤0.1PPm,
S、P的氧化物≤0.1PPm。
尘埃粒子数(≥0.3μm)3-5个/升。
工作压力:0.4-1.5MPa。
处理气量:10NM3/h。
设备特点
1、催化剂活性高,净化后的气体纯度高。
2、双式结构,一组工作另一组再生备用,故能长期连续供气。
3、采用本机纯气吹扫的再生流程,再生不用氢,故不需专用机房,安全性好。