CMP化学机械抛光机

Sainko 蓝宝石抛光机、CMP化学机械抛光机是用于工件硬抛光后的表粗糙度的提升。主要用于蓝宝石、硅晶片的终到抛光。也可用于不锈钢和陶瓷等材料的镜面抛光。
本机的配备有4个上抛光头可以分别控制压力系统、自动编程控制系统、自动恒温系统。抛光后精度可达3um以内(¢50mm)
可选配备
l 循还过滤抛光液供给系统
l 上抛光头动力系统
l 抛光液制冷系统
型号 | SK-36CP | SK-48CP |
抛光盘尺寸 | ¢910mm | ¢1200mm |
上抛光头尺寸 | 300mm | 400mm |
主马达功率 | 5.5kw | 7.5kw |
上抛光头最大压力 | 200kg | 300kg |
外形尺寸 | 1100W*2200L*1980H | 1500W*310L*2500H |
机组重量 | 3000kg | 42000 |
电源 | 三相380V | 三相380V |
气源要求 | 0.5MP | 0.5MP |