MP执行器是一个低电压的压电转换设备,有各种各样的量程,以适应各种定制应用。开环压电转换设备理论上有无限的分辨率并且只是受限于驱动器上的电压噪声。它的量程可以从15-105um,甚至进一步进行机械放大。每个执行器内部预装以确保可以获得一个高拉力,以及作为一个强大的推动力。它们的回转速度受限于电子元件上的驱动电流。当没有使用传感器时,10%- 15%的固有滞后限制其精度。
概述
为了便于安装,每一个MP执行器在其底部都会有一个M3的固定螺孔,从而允许大的配件和MP一同使用。 MP系列执行器有真空(VAC)和超高真空(UHV)选项。 我们提供一系列驱动选项以适应MP产品在各种开环模式中使用,或者他们可以与纳米传感器和闭环电子元件相结合来配置自定义的闭环控制系统。
应用领域
◆
显微镜;
波束控制;
自定义闭环系统;
推荐控制器
NM2100
主要特点
低电压;
尺寸紧凑;
高强度;
内部预装 - 高拉力;
VAC和UVAC选项;
广泛应用的附件;
推荐产品
技术规格安装尺寸
参数
符号
值
单位
备注
静态参数
型号
15
30
45
75
105
材料
不锈钢
长度
50
70
110
150
mm
直径
10
线缆长度
2000
*移动范围
dxp·max
>15
>30
>45
>75
>105
um
最大负荷
Kg
①
刚度
25
16
7
N/um
电容量
1.8
3.6
5.4
9.0
12.6
uF
动态参数
工作温度
+10~+50
℃
工作电压
-20~-120
VDC
储存温度
0~+70
相对湿度
5~95(无冷凝)
%
误差
*磁滞(峰值)
δxp·hyst
≤13
*线性度
δxp·lin
≤6
②
注意:
*这些参数由各转换器实测并提供的。
①、这是MP在Z轴方向最大能承受的负载。
②、满量程的相对误差。
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