应用领域

压电微位移、振动台，电子显微镜微调，天文望远镜镜片微调，精密微位移测量等。

主要特点

◆

量程20～1250μm；

◆

分辨率<0.1nm；零磁滞；

◆

线性最高0.02%；

◆

频带可调：50～5000Hz；灵敏度可调； 

◆

真空兼容选项；

双极性电容传感器工作示意图

相关产品

传感器型号

ZNXA

ZNXB

ZNXC

ZNXD

小量程μm

-

20

100

250

灵敏度μm/V

-

2

10

25

噪音nm rms Hz-1/2

-

<0.001

<0.005

<0.013

温漂nm/K

-

1

4.4

11

线性度%

-

<0.08

<0.03

<0.06

大量程μm

50

100

500

1250

灵敏度μm/V

5

10

50

125

噪音nm rms Hz-1/2

<0.08

<0.015

<0.075

<0.188

温漂nm/K

2.2

4.4

22

55

线性度%

<0.08

<0.08

<0.05

<0.06

频响Hz

50/500/5000

控制器型号

NS2000

NM2110

S2000和NS模块

NM3330

传感器通道最大个数

1

1

14

3

供电

±15V，70mA

90～130V或220～260V

90～110V或110～130V或220～260V

90～260V

模拟输出V

±5

±5

±5

数字输出

16位(可选)

7位浮点数

频响KHz

5

5

5

12.5