供应LINE-TECH M3500VA气体质量流量控制器
M3500V/A 300SLPM-1000SLPM |
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【各项技术参数】 | Model | M3500V | M3500A | 流量范围(N2) | 300slpm ~ 1000slpm | 300slpm ~ 1000slpm | 响应时间 | <2 sec
| <2 sec | 精准度 | ≤±1% FS | ≤±1% FS | 重复精度 | ±0.25% FS | ±0.25% FS | 输入/输出信号 | 0~5 Vdc | 0~5 Vdc OR 4~20 mA | 供电电源 | ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA | ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA | 耐压 | <15 bar | <15 bar | 工作环境温度 | 0~50 °C | 0~50 °C | 漏率 | 1*10E-9 atm cc/sec | 1*10E-9 atm cc/sec | 使用范围 | 2 ~ 100% for | 2 ~ 100% |
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