产品规格：
　　每组平行平晶共四块，分四个尺寸系列组
　　测量范围：组I系列：0～25mm
　　组II系列：25～50mm
　　组III系列：50～75mm
　　组IV系列：75～100mm
　　测量面上平面度偏差＜0.1μm
　　平面度局部偏差＞0.03μm
　　测量面平行度误差：组I系列允差值：0.06μm
　　组II，III系列允差值：0.08μm
　　组IV系列允差值：0.1μm
　　平晶直径φ30mm，φ40mm，φ40mm，φ50mm