[ 产品介绍 ] 
型号 505B 1010B 2010B 2017B 3017B 4020B
货号 MF-A 176-561DC 176-562DC 176-563DC 176-564DC 176-565DC 176-566DC
MF-B 176-581DC 176-582DC 176-583DC 176-584DC 176-585DC 176-586C
XY工作台移动范围mm 50×50 100×100 200×100 200×170 300×170 400×200
Z轴移动范围mm 150 150 150 220 220 220
调焦方式 手动调焦（粗调焦：100mm/rev、微调焦：0.1mm/rev）
测量方式 线性编码器（2轴型：X/Y轴、3轴型：X/Y/Z轴）
分辨率 0.001/0.0005/0.0001mm
测量精度 XY轴：（2.5+2.0L）UM，L为无负载测量长度，JIS B7153
指示精度 Z轴：（5+0.04L）UM.L为长度，JIS B7153
浮动功能 带有快速断开功能的X和Y轴
XY工作台台面尺寸mm 280×280 280×280 350×280 410×342 510×342 610×342
载物玻璃有效尺寸mm 180×180 180×180 250×150 270×240 370×240 440×240
旋转功能 - - - ±5°(左) ±5°(左) ±3°(左)
最大工件重量kg 10 10 10 20 20 15
最大工件高度mm 150 150 150 220 220 220