应用领域

光学平台位置测量、半导体和光器件的研磨、半导体模板对齐系统、蒸镀系统、电子显微镜垂直轴定位、原子显微镜垂直轴定位、磁悬浮轴控制、部件研磨加工的精确定位、镜片控制、物质收缩测试测量、机械结构变形探测与测试。

型号SMT9700

2U

★★

15N

★★

1U1

★★

5U

★★

20N

★★

9U

★

3U1

★★

12U

★

16U

★

6U1

★★

26U

★

38U

★

51U

★

测量范围mm

0.5

0.9

1

1.3

1.9

2.5

3

4

5

6

8.1

12.7

15

被测材料

(非铁磁)

◆

被测材料

(铁磁)

◆

◆

◆

◆

◆

◆

◆

控制器工作温度℃

0～70

控制器储存温度℃

0～70

补偿温度℃

15～55

模拟输出mA

<20(有短路和过载保护)

供电

15～30V，<50mA(有容错、短路保护)

备注： 探头工作温度     ★  <+200℃    ★★   -55℃～+105℃       ◆ 探头可用