应用领域

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磁盘驱动器磁头测试；

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膜/晶圆夹头对齐；

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扫描探针显微技术；

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光腔调整；

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干涉测量；

主要特点

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模拟定位监控；

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模拟命令输入；

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可选16位数字命令带0.2nm/bit分辨率（15μm的微动平台）；

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闭环操作；

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等比例，积分和微分（PID）反馈；

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陷波滤波器；

◆

可调的闭环带宽；

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线性度<0.02％；

◆

TTL兼容READY信号并带可调READY下限；

◆

同步信号多方向同时工作；

推荐产品

参数

值

单位

备注

静态参数

尺寸

247x155x70

mm

供电电压

90~260

VAC

45~65

Hz

传感器输出

-5~+5

V

①

控制接口

模拟/数字

模拟输出范围

-5~+5

V

数字输入D/A分辨率

14

Bits

纳米传感器动态参数

带宽

5000

Hz

内在传感器噪音

122x10-9

Hz-1/2

②

高压放大器的动态参数(典型值)

输出电压(2100)

-20~+120

V

带宽

＞10

KHz

噪音

0.3

mVrms

最大电流

70

mA