技术规格安装尺寸 , 参数 | 符号 | 值 | 单位 | 备注 | | 静态参数 | | | 型号 | | NM3110 | NM3220 | NM3330 | | | | 尺寸 | | 288L x 307W x 70H | mm | | | 线电压 | | 90~260 | VAC | | | 线频率 | | 45~65 | Hz | | | 控制器线缆长度 | | 2~5 | m | ① | | 控制接口 | | RS232 | | ② | | 命令格式 | | 单精度浮点数(7位) | | ③ | | 测量格式 | | 单精度浮点数(7位) | | ③ | | 动态参数 | | | 比例因子 | ax1,bx1 | 1 | um | ④ | | 纳米传感器带宽 | | 5 | KHz | ⑤ | | 内在传感器噪音 | kxm·nden | 100x10-9 | Hz-1/2 | ⑥ | | 高压放大器输出偏差 | | -20~120 | V | | | 高压放大器带宽 | | 10 | KHz | ⑦ | | 内在高压噪声(RMS) | | 0.3 | mV | | 高压放大器最大电流 | | 50 | mA | ⑧ | | 预热时间 | | 25 | Min | | | 预热温漂 | | 50 | nm | | | 温漂 | 低温漂 | | 200x10-6 | K-1 | ⑨ | | 标准 | | 70x10-6 | | | | 工作温度 | | 0~40 | ℃ | | | 存储温度 | | -20~70 | ℃ | | | 闭环通道 | | 1 | 3 | 6 | | ⑩ | |
注意: ①、
低噪音选项的线长最大只能是2米。 ②、
包括标准接口,其他接口也可用。 ③、
数字分辨率在大多数情况下优于系统噪音。整数格式也可用。这个是客户可选的;出厂设置是IEEE标准格式。 ④、 出厂设置,用户可选。 ⑤、
“读位置”命令以5KHz的带宽返回位置信息,“快照”模式以12.5KHz返回位置信息。 ⑥、
这个参数是低噪音的选项(-LN)。标准型号的选项是它的三倍。这个数乘以传感器差距的平方和带宽的平方根,然后再除以10pF情况下传感器的差距以达到以米为单位噪音的有效值;那么就是:噪音=kxm·ndens
x G2/d10pF,G是指电容的差距,d10pF是指在10pF电容下的电容差距。 ⑦、
在4uF负载下的带宽。在更高负载下的带宽是6.1KHz(6uF),3.7KHz(10uF)。标准平台的电容式4uF。 ⑧、
在少于1分钟的短路保护下可以达到100mA,请联系真尚有了解详情。 ⑨、
例如,一个定位器的传感器差距是100um并且是-LD选项的温漂是7nm·K-1,那么它仅仅用于控制器,并不包括微动平台热膨胀。 ⑩、
如果想要获取6个通道,可以用两个控制器连接在一起。通道可以是开环或者是闭环(用户可选)。 |