u       结构简单，易于更换及维修；

u       便于清洁的设计

适用范围：

1×10-5Pa～1.2×105Pa

打开时阀板上的压差：

≤1.2×105 Pa

阀体和阀座漏率：

 <1.3×10-7Pa·L·s-1

建议首次维修前循环次数：

200，000次

阀体烘烤温度：

80℃

安装位置：

KF法兰接真空

电源（只适用于电磁）：

交流220V 50Hz，15W或

24V，6W（特殊规格可定做）

阀门开启或关闭时间：

-电磁驱动：≤0.5s