一、设备配置及主要技术指标

1、真空室1个。卧式结构，前面开门，304不锈钢制造，外焊不锈钢冷却水管。表面抛光处理。

2、工件架2个。公转结构，304不锈钢制造。

3、装夹小车2个。公转结构，304不锈钢制造。

4、直流磁控溅射电源2套，功率15kw/个(国产)。

5、平面靶2个，靶尺寸：460×160，靶壳用铝合金制造，靶材自备。

6、(氩气)质量流量计：1套 (美国)。

7、真空控制系统带真空计  (国产)。

8、可编程控制器（PLC）一套（日本）带数模和模数转换块。9、触摸屏：彩色10.4寸  （台湾产）带屏保功能。

10、真空机组：

1）低温泵      1台   型号：CRYO-TORR 8 产地：美国

2)压缩机       1台   型号:8200    产地:美国

3）旋片泵      1台   型号：VD401 产地：国产

4）超高真空插板阀1个，CCQ-250    产地：国产

11、电器控制系统1套：主要由PLC和触摸屏构成，其它元件采用施耐德和欧母龙的产品。

12、极限真空：5×10-4pa

13、真空室尺寸：φ600×700

14、靶材尺寸：460×160

15、单靶磁控电源功率：15kw

16、抽速：从大气抽到5×10-3pa≤18分钟

17、冷却水耗量：6m3/h18、压缩空气：0.5～0.6Mpa

用 途： 用于片式元件端头镀膜专用设备。