多弧离子镀膜机,电弧离子镀膜设备是一种高效、无污染的离子镀膜设备,具有沉积速度快、离化率高、离子能量大、设备操作简单、成本低、生产量大的优点。
真空电弧离子镀膜的原理是基于冷阴极自持弧光放电等离子体蒸发、电离镀料,结合脉冲偏压技术,提高沉积粒子能量和活性,增强膜层的各项性能。它不仅能在金属制品表面进行镀膜而且能在非金属制品表面上进行镀膜;可以镀金属膜,氮化钛、碳化钛、氮化锆、氮化铬及镍、铬、铜等化合物膜、多层超硬膜、多元化合物膜,还可以镀氮化钛掺金膜等。电弧离子镀膜广泛应用于工具、模具的超硬涂层,汽车轮毂、高尔夫球具、钟表、酒店用品、卫浴洁具、灯具、眼镜镜架、五金制品、陶瓷和玻璃等的装饰涂层等领域。
我公司着力改进圆形电弧蒸发源,同时着力开发高性能矩形平面电弧蒸发源,均已装配新机。
DY-MS系列真空多弧离子镀膜机型号及技术参数 |
性能型号 |
DY-MS-700 |
DY-MS-900 |
DY-MS-1000 |
DY-MS-1250 |
DY-MS-1400 |
DY-MS-1600 |
镀膜室尺寸 |
Ф700×H900mm |
Ф900×H1100mm |
Ф1000×H1200mm |
Ф1250×H1350mm |
Ф1400×H1600mm |
Ф1600×H1800mm |
电源类型 |
电弧电源、灯丝电源、脉冲偏压电源 |
真空室结构 |
立式前开门结构、后置抽气系统、双层水冷腔室 |
真空室材质 |
优质不锈钢材质腔体 |
极限真空 |
6.0×10-4Pa |
抽气时间(空载) |
从大气抽至8.0×10-3Pa≤12分钟 |
真空获得系统 |
扩散泵或分子泵+罗茨泵+机械泵+维持泵(具体型号可根据客户的要求进行配置) |
电弧源 |
4台或6台 |
6台或8台 |
8台或10台 |
10台或12台 |
14台或16台 |
16台或18台 |
偏压电源 |
10KW/1台 |
20KW/1台 |
20KW/1台 |
30KW/1台 |
40KW/1台 |
50KW/1台 |
工件转架 |
行星式公自转、变频调速(可控可调) |
转动方式 |
工件烘烤温度 |
室温至450℃可控可调(PID温控) |
工艺气体 |
3路或4路工艺气体流量控制及显示系统选配自动加气系统 |
冷却方式 |
水循环冷却方式,另需配冷却水塔或工业冷水机或深冷系统。(客户提供) |
控制方式 |
手动/自动一体化方式、触摸屏操作、PLC或计算机控制 |
整机总功率 |
25KW |
30KW |
35KW |
45KW |
60KW |
75KW |
报警及保护 |
对泵和靶等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警,并执行相应保护措施及电气联锁功能。 |
设备占地面积 |
W2m×L3m |
W2.5m×L3.5m |
W3m×L4m |
W4m×L5m |
W4.5m×L6m |
W5m×L7m |
其他技术参数 |
水压≥0.2MPa、水温≤25℃、气压0.5-0.8MPa |
备注 |
镀膜设备的具体配置可根据客户的镀膜产品工艺要求进行设计。 |
窗体底端 |