ASC4000系列台式匀胶机
简介
ASC4000系列匀胶机（旋涂仪）在上一代ASC匀胶机基础进行了新的设计，广泛应用于晶片，光学和平板显示基片的旋涂工艺，其良好的匀胶性和高速平稳的速度使得匀胶厚度从厚至薄都始终保持高度均匀。配置闭环式高性能无碳刷直流电机的ASC系列匀胶系统提供精度为±1rpm的旋涂匀胶速度，可以满足高校，国家实验室及研发中心的相关应用；ASC系列匀胶机具有准确性，可重复性和稳定性，能提供最好的旋涂或匀胶性能。
ASC 4100
技术规格1
设备 | ASC - 4100 |
基片尺寸 | Pieces ~max Ø 4" ?80mm |
匀胶速度 | 80 ~ 6000 rpm |
旋涂加速度 | ~ 10,000rpm/sec , max < 5% |
旋涂马达 | BLDC Spin Motor (Hollowness axis) |
旋涂腔体 | Ø 230 HDPP Bottom & cover |
显示 | 7英寸LCD 触控显示屏 |
程序 | PLC, 20 Recipes / 10 Steps |
真空泵 | 无油真空泵 |
电源 | 220VAC/110VAC, 5A |
ASC 4200 ASC 4200A
技术规格2
设备 | ASC - 4200 | ASC - 4200A |
基片尺寸 | Pieces ~max Ø 6" ?100mm | Pieces ~max Ø 8" ?150mm |
匀胶速度 | 80 ~ 6000 rpm | 0~ 6000rpm |
旋涂加速度 | ~ 10,000rpm/sec , max < 5% | ~ 10,000rpm/sec , max < 5% |
旋涂马达 | BLDC Spin Motor (Hollowness axis) | AC Servo 250w Spin Motor |
旋涂腔体 | Ø 230 HDPP Bottom & cover | Ø 330 HDPP Bottom & Top cup |
显示 | 7英寸LCD 触控显示屏 | 7英寸LCD 触控显示屏 |
程序 | PLC, 20 Recipes / 10 Steps |
真空泵 | Oil-less Vacuum Pump |
电源 | 220VAC, 5A |
仪器介绍
匀胶机有许多名称：甩胶机、涂胶机、涂层机、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机、旋转涂布机、旋转薄膜机、旋转涂膜仪等,主要应用于溶胶凝胶（Sol-Gel）实验中的薄膜制作。其工作原理是高速旋转基片, 利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂在基片上,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同, 也和旋转速度及时间有关。
匀胶机适用于半导体、硅片、晶片、基片、导电玻璃及制版等表面涂覆工艺, 可在工矿企业、科研、教育等单位作生产、科研、教学之用。
