ZLDS/N-100具有100微米的量程和15纳米的分辨率,是一款非接触式高精度光学位移传感器。
其起始测量距离为3mm,对于被测体有较宽的适用范围,比如金属,半导体和玻璃。该传感器可以很容易与现有设计相接合,而且具有较大的基准距,其测量精度
实际相当于一个高分辨率的电容传感器。对于定点测量,振动测量,表面轮廓测量,ZLDS/N-100都是一款理想的测量工具。 |
应用领域 |
应用于光盘、硬盘的在线检测,还可以应用于电机等强磁场测振和表面轮廓测量。 |
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主要特点 |
◆ | 高分辨率,可替代电容式传感器; |
◆ | 对电磁场不敏感,可用于电机等强磁场测振; |
◆ | 宽频带,可测高频振动体; |
◆ | 对被测体表面要求低,反射率4~100%均可用; |
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