应用领域

应用于光盘、硬盘的在线检测，还可以应用于电机等强磁场测振和表面轮廓测量。

主要特点

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高分辨率，可替代电容式传感器；

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对电磁场不敏感，可用于电机等强磁场测振；

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宽频带，可测高频振动体；

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对被测体表面要求低，反射率4～100%均可用；

技术参数

ZLDS/N-100

量程μm

100

分辨率nm

15

线性度μm

±5

重复性nm

±75

信号接收范围μm

±400

带宽KHz

100

允许表面反射度%

4～100

传感器探头基准距mm

3.0

垂直容忍度

±0.1°

供电

±12VDC @80mA

传感器体长mm

58.7

测量点直径μm

100

控制器尺寸mm

98x32x13

电缆长度mm

460