ZSY/OSM-Z-100B使用ZSY最新的双传感器技术在显微镜的物镜聚焦行业，拥有业界的动态性能和精度。ZSY/OSM提供埃米级的定位精度、超过100微米的总行程和小于4ms的阶跃稳定时间。
我们拥有世界的非接触式位移测量系统——纳米传感器保证了产品在纳米层级上拥有出色的分辨率，重复性和稳定性。低离轴误差和极高刚度的先进设计进一步提高了产品性能。包括最新支持双传感器技术的DSC-A-1110DST模拟控制器在内的一系列模拟和数字控制器都可用于驱动ZSY/OSM-Z-100B。 概述
ZSY/OSM系列在显微镜的物镜聚焦装置领域内代表了最高的性能。 ZSY/OSM系统用于显微镜转台和目标之间的定位，可以为定位和扫描提供埃米级的分辨率。 应用领域 ◆ 表面结构分析； ◆ 自动对焦系统； ◆ 共焦显微镜； ◆ 扫描干涉仪； 推荐控制器 DSC-A-1110DS模拟控制器 主要特点 ◆ 高于行业标准3倍速度：<4ms的阶跃稳定时间和100μm的闭环位移控制；600Hz的响应频率；20N/μm的刚度 ◆ 装备双传感器技术：在不同的负载下无需重新校准；优越的机械带宽； ◆ 卓越的ZSY纳米传感器定位性能：0.1nm的定位噪音；0.01%的线性度；0.005%的剩余磁滞； ◆ 免工具安装适配器； ◆ 超级不胀钢结构设计获得极高的聚焦稳定性； 推荐产品 参数 符号 值 单位 备注 静态参数 最小 标准 最大 材料 超因瓦低膨胀系数合金(亮镍镀层) 尺寸 56长x46直径 mm 线缆长度 2 m 接口 15 Pins
Sub-D *范围 dzp.max 100 um 静态刚度 kz 20 N/um 共振频率: 0g负载 f0·0 600 Hz 150g负载 f0·100 400 Hz 280g负载 f0·280 320 Hz 500g负载 f0·500 270 Hz 最大负载 0.6 Kg ① 动态参数(标准值) 中 ② 3dB带宽 Bz·p 210 Hz *反应时间 tzs·s <4 ms ③ *位置噪声(1σ) δZp·n 0.5 nm ④ 转换速率 uzp·max 20 μm/ms ⑤ 误差 最小 标准 最大 *迟滞(峰到峰) δzp·hyst 0.005 0.01 % ⑥ *线性误差(峰值) δzp·lin 0.01 0.1 % ⑦ *旋转误差 δФz 2 10 uradians ⑧ *旋转误差 δγz 2 10 uradians ⑧ 注释： *这些参数由各转换器实测并提供的。 ①、取决于取向，Z轴方向的最大负载是600g。负载超过0.6Kg会对柔性机制造成损坏。 ②、对于动态参数中的闭环参数的设置取决于有效载荷。快表示在负载少于20g的情况下平稳移动的最快速度。标准表示最大的稳定速度可以将负载提高到150g。慢是指伺服回路平稳工作时负载最大允许质量的速度-等效于噪声低设置。 ③、这是2%稳定时间，这个功能是为用户可控制伺服回路设计的。测试步伐为500nm。 ④、该阶段实际位置的噪声，该值是使用DSC-A-1110DS模拟控制器得到的。 ⑤、真实位置随时间改变的最高速率可以实现，它受闭环参数的限制。该值是使用DSC-A-1110DS模拟控制器得到的。 ⑥、百分比的位置，取决于控制器类型以及位移量：
1um的位移的滞后规格为0.1nm。 ⑦、全方位运动的错误百分比。
取决于控制器类型：数字控制器允许4阶线性化。 ⑧、平台上的全方位角运动，这些旋转误差是分别绕X轴和Y轴的旋转误差。
ZSY/OSM-Z-100B使用ZSY最新的双传感器技术，在显微镜物镜聚焦领域实现了业界的动态性能和精度。 
ZNXsensor超精密电容位移传感器 
ZCS1100精密电容位移传感器 
技术规格安装尺寸
