专业为可控硅生产厂家提供设备
主营产品:可控硅芯片磨角机(专利产品)、扩散炉、扩散炉体、真空烧结炉、旋转腐蚀机、半导体光刻机、匀胶机、晶闸管测试台、温度控制器、清洗机等.
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烧结炉系列
产品简介
设备分类:从结构上分为卧式、立式、箱式,从真空度上分为低真空、高真空,从使用温度上分为低温、高温,从真空室材料上分为石英管、耐热不锈钢管,从真空获得上分机械泵、机械泵+扩散泵、机械泵+分子泵。
设备用途:广泛用于电力电子器件、玻封二级管、气体放电管、磁性材料、热敏电阻等器件的真空烧结、封装、焊接、合金、退火等工艺。
主要技术指标
工位: 单、双、三工位
工作温度: 300~1100℃(不锈钢真空室最高1000℃)
真空度: 优于5×10~3 Pa
真空室直径:Φ150~300 mm
恒温区长度:400~1000 mm
控制精度: ±1.0~3.0℃
炉体移动速度:0~400 mm/min
最大充气压力:0.5 MPa (不锈钢真空室)
加热功率: 10~80 KVA
控制系统: 进口仪表+PLC+触摸屏
安全连锁保护:超温、断偶、缺水、压力异常保护报警




