产品名称：准分子激光气体（Excimer Laser Gases)
其他名称：氟化氩激光气体（193nm）；氟化氪激光气体（248nm）；氯化氙激光气体（308nm）
产品类型：ArF，KrF，XeCl，5%F2/He, Kr/Ne,F2/Kr/Ne,Ar/Ne,F2/Ar/Ne
UN NO.：UN1956
钢瓶容积：11L，16L，20L，49L，50L
阀门型号：CGA679，DIN 8，DIN 14
                    高功率准分子激光气体
可用波长          193 nm            ArF 
                  248 nm            KrF 
                  308 nm            XeCl 
                  450nm~520nm       XeF 
最大紫外功率  540 W 
最大紫外能量  1100 mj 
重复频率  可变， 1~600 Hz 
脉冲稳定性  0.5%~1%，rms 
长期漂移  0.1%~0.5%，rms 
光束分布  均匀，平顶 
脉冲宽度  10~20 ns 

          F2,   99.9%
          Ar,   99.9999%
          He,  99.9999%
          Ne,  99.9999%

相关气体纯度          HCl, 电子级
                    Kr,   99.999%
                    Xe,  99.999%
                    O2,  99.999%
                    H2,  99.999% 
气体工作温度  - 40 0C ~ + 74 0C 
气体压力  520 psig ~ 2400 psig / 35 Bar ~ 167 Bar 
钢瓶规格  10L、16L、20L、50L 
阀门接口  CGA 679、CGA 330、CGA 580、DIN 6、DIN 8、DIN 14 
安全手册  请在本公司网站阅读或下载。 

本产品适用于近视眼矫正手术、白癜风治疗等医疗应用：
适用机型                                    波长
                                             nm  钢瓶规格  阀门规格  工作气体 
鹰视（COHERENT）                             193  20L        DIN8  
博士伦（B & L）                              193  20L/50L    DIN8 
蔡司（ZEISS）                                193  10L/20L    DIN 8 
威视（VISX）                                 193  16L        CGA 679  F2,   99.9%
尼德克（NIDEK） 193 16L CGA 679 Ar, 99.9999%
雷赛（LASERSIGHT）                           193  10L        CGA 679  He,  99.9999%
爱尔康（Alcon） 193 16L CGA 679 Ne, 99.9999%
康奥（SCHWIND）                              193  20L      DIN 8/DIN 14 
视可佳（六六视觉）                           193  16L        CGA 679 
森美（SUMMIT）                               193  16L        CGA 679 
科医人（COHERENT）                           308  8L         CGA 330  HCl,电子级

                                                                      Xe，99.9995%
美国  Photomedex                             308  8L         CGA 330

Ne,99.9999%
  工业技术的升级转型需要平衡日益增长的性能需求与加工速度及制造成本之间的矛盾。准分子激光的诞生，以其高光子能量所称著，在对突破材料限制需求越来越迫切的时代，准分子激光器再次站在了尖端工业激光解决方案的最前沿。作为当今最有效、最可靠的脉冲紫外激光技术的代表，准分子激光器有效地推进了诸如半导体、AMOLED平板显示、薄膜、硅底板加工、有机金属沉淀、高温超导、刻蚀、材料研究、汽车制造、生物医疗、光纤、钻石打标设备及可替代能源等多种成长型工业中的技术革新。
品 牌           机 型            波 长             工作气体 
ATL           ATL ARF-1         193 nm           F2,Ar,Xe,Ne 
              ATL KRF-1           248 nm           F2,Kr,Xe,Ne 
TUI         CTFTS-ARFV 2.2      193 nm           F2,Ar,He,Ne 
            CTFTS-KRFV 2.1      248 nm           F2,Kr,He,Ne 
            CTFTS-KRFV 2.2      248 nm           F2,Kr,He,Xe,Ne 
            CTMD-ARFV 2.0       193 nm           F2,Ar,He,O2,Ne 
            CTMD-XECLV 2.1      308 nm           HCl,H2,Xe,Ne 
            CTMN-ARFV 2.0       193 nm           F2,Ar,He,Ne 
            CTMN-ARFV 2.1       193 nm           F2,Ar,He,Ne 
            CTMN-KRFV 1.0       248 nm           F2,Kr,He,Ne 
            CTMN-KRFV 2.0       248 nm           F2,Kr,He,Ne 
            CTMN-XECLV 2.0      308 nm           HCl,H2,Xe,Ne 
            CTMN-XECLV 5.0      308 nm           HCl,H2,Xe,Ne 
            CTMN-XEFV 1.1    450nm~520nm         F2,Xe,He,Ne 
            CTMN-XEFV 1.2    450nm~520nm         F2,Xe,He,Ne 
               EX5 ArF          193 nm           F2,Ar,He,O2,Ne 
               EX5 KrF          248 nm           F2,Kr,He,Ne 
               EX5 XeCl         308 nm           HCl,H2,Xe,Ne 
GAM Laser      EX10             193 nm           F2,Ar,He,Ne 
               EX50             193 nm           F2,Ar,He,Ne 
               EX100            193 nm           F2,Ar,He,Ne 
Photomedex     XeCl             308 nm           HCl,Xe,Ne 
Photoscribe    ArF              193 nm           F2,Ar,Ne 
               KrF              248 nm           F2,Kr,Ne 
Potomac        ArF              193 nm           F2,Ar,Ne 
Photonics      KrF              248 nm           F2,Kr,Ne 
Spectranetics  XeCl             308 nm           HCl,H2,Xe,Ne 

注意事项:准分子激光气体为高压充装气体，使用时应经减压降压后方可使用。包装的气瓶上均有使用的年限，凡到期的气瓶必须送往有部门进行安全检验，方能继续使用。每瓶气体在使用到尾气时，应保留瓶内余压在0.5MPa，最小不得低于0.25MPa余压，应将瓶阀关闭，以保证气体质量和使用安全。瓶装气体产品在运输储存、使用时都应分类堆放，严禁可燃气体与助燃气体堆放在一起，不准靠近明火和热源，应做到勿近火、勿沾油腊、勿爆晒、勿重抛、勿撞击，严禁在气瓶身上进行引弧或电弧，严禁野蛮装卸。