LF-400(数字式无本显型)
SERIES
概要
LF400系列采用温度变化对应于质量流量的原理,可以对不同的气体进行流量量测及控制。 可应用在5SCCM到30SLM的气体流量范围,并且不会受到温度及压力变化的影响。产品系列完整,可选择数字式,模拟式,普通,高精度,高压力型,性能且价格具有竞争力,应用领域广泛。特点
o 数字式热质式流量计/流量控制器:- 低单价- 环境温度补正- 可应用的流率范围广:- 0~5,10,20,30,50,100,200,500SCCM- 0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLMo 高精度±1%(≤15SLM)±1.5%(>15SLM.)o 直接联接电脑使用(提供免费软件)o 国际兼容 应用
o 工业设施的气体供应监测/控制。o 气体分析设备。o 固定气体流量控制。o 气体混合或分离设备标准
气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为:标准温度………………0℃(273.15K)标准压强………………101325Pa输入输出
输入设定…………RS232,RS485输出检测…………RS232,RS485规格 (热式)
功能流量计/控制器基本型号 LF400-1B满量程流量范围(N2)SCCM0~5,10,20,30,50,100,200,500SLM0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30精度(%F.S)±1(≤15SLM)±1.5(>15SLM.)控制阀动作型式常闭式线性(%F.S.)±0.5重复精度(%F.S.)±0.2响应时间(sec)≤1流量输出信号0-5VDC,RS-232/RS485流量设定信号0-5VDC,RS-232/RS485电器接头8pin(Mini plug)工作环境温度(℃)5~65工作压差(MPa)0.1~0.5漏率SCCSHe1×10-9最大耐压3MPa,10MPa,介质接触材质304,316,316L密封材料氟橡胶,硅橡胶,丁腈橡胶,聚四氟乙烯接头尺寸VCR
1/4Swagelok1/8”、1/4”或φ3、φ6mm电源要求6-15VDC 附:送上位机软件包型号
LF400-1B □ □ - □□□ - □□□-□□□型式A模拟式B数字式功能 M流量计C流量控制器流量范围 ABC 气体种类 013N2008Air015O2004Ar025CO2001HeFFF其他接头1/4”VCR1 1/2”VCR23”SWL36”SWL4其他F讯号DC 0~5V1 其他2电源DC /-15V,7-16VDC1
流量范围是以mL/min,L/min 为单位 例:5mL/min 表示为005500mL/min表示为500 50 L/min(nor) 表示为50L