气体质量流量控制器(20MPA) 商品简介: 
· 热式原理 
· 一体化设计 
· 满量程从 5SCCM 到 1000SLPM 
· 响应时间不超过 2 秒钟 
· 操作压力可达 20MPa 
· 对安装位置不敏感 
· 316SS 材质
· 无直管段要求 
· 单电源供电 
技术参数 
流量范围 ：从 0-5SCCM 到 0-1000SLPM N 2 ，具体请参考表一 
响应时间 ： 1 ～ 2 秒 
精 度 ： ± 1% 满量程（除 114 型）； ± 1.5% 满量程（ 114 型） 
再 现 性 ： ± 0.2% 满量程 
量 程 比 ： 50:1 （ 2%-100% 满量程） 
环境和操作温度 ： -10 ～ 70 ℃ 
最大操作压力 ： 3000PSIG （ 20MPa ） ，具体请参考表一 
零点漂移：± 0.05 % 满量程 / ℃ 
范围漂移： ± 0.05 % 读数 / ℃ 
压力漂移： 0.1%/atm （相对于 N 2 ） 
安装方向： 对位置不敏感 
预热时间： 10 分钟 
电气连接： 卡式（ 20 针）或 D 型（ 9 针） 
流量信号输出： 
0-5VDC （最小负载电阻 2K Ω ）； 
0-10VDC （最小负载电阻 3K Ω ）； 
1-5VDC （最小负载电阻 2K Ω ）； 
4-20mA （请参考下面的说明）； 
对于流量信号输出为 4-20mA 的负载电阻： 
环路电压为 6.5-15VDC 时： 0-450 Ω 
环路电压为 15-30VDC 时： 200-750Ω 
供应电源 ： 
电压输出：＋ 12( ± 5 ％ ) （仅适用于 0-5VDC 和 1-5VDC 流量信号输出）或  15( ± 10 ％ )VDC
电流输出：＋ 15( ± 5 ％ ) 或  24( ± 15 ％ )VDC 
电流消耗：＜ 45mAdc 
重 量 ：请参考表一 
结构材质 
主 体： 316SS 
传感器组件 ： 316LSS 
密封材质（” O ”型环）： Buna N ， EPDM ， Kalrez ? ， Neoprene ， Viton? 
过程连接： 316SS 表 一 型 号 流量范围（ N 2 标定） 
最小 / 最大最大操作压力 PSIG （ MPa ） 重 量 lbs （ Kg ） 111 0-5SCCM/0-10SLPM 1500 （ 10.3 ） 0.9 （ 0.41 ） 112 0-10SLPM/0-100SLPM 1500 （ 10.3 ） 2.1 （ 0.95 ） 113 0- 100SLPM /0-500SLPM 1500 （ 10.3 ） 5.2 （ 2.4 ） 114 0-500SLPM/0-1000SLPM 1500 （ 10.3 ） 6.6 （ 3.0 ） 121 0-5SCCM/0-10SLPM 3000 （ 20.7 ） 0.9 （ 0.41 ） 122 0-10SLPM/0-100SLPM 3000 （ 20.7 ） 2.1 （ 0.95 ） 123 0-100SLPM/0-500SLPM 3000 （ 20.7 ） 10.8 （ 4.9 ） 
订货时须提供以下信息： 
1 、产品型号 
2 、电气接口 
3 、流量信号输出 
4 、密封材质（阀座 / ” O ”型环） 
5 、接口尺寸和类型 
6 、流量范围 
7 、介质（气体类型） 
8 、工作温度 
9 、入口压力 P1 
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