产品概要如下：
LF400系列采用温度变化对应于质量流量的原理，可以对不同的气体进行流量量测及控制。 可应用在5SCCM到30SLM的气体流量范围，并且不会受到温度及压力变化的影响。 产品系列完整，可选择数字式，模拟式，普通，高精度，高压力型，性能且价格具有竞争力，应用领域广泛。 特点
o 模拟式热质式流量计/流量控制器： - 低单价 - 环境温度补正 - 可应用的流率范围广： - 0～5，10，20，30，50，100，200，500SCCM - 0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM o 高精度 ±1%(≤15SLM) ±1.5%(＞15SLM.) o 可选用LF系列控制模块，具有数位显示、电源供应、流量设定等功能o 国际兼容 应用
o 工业设施的气体供应监测/控制。o 气体分析设备。o 固定气体流量控制。o 气体混合或分离设备 标准
气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为：标准温度………………0℃（273.15K）标准压强………………101325Pa输入输出
功能流量计/控制器基本型号 LF400-M满量程流量范围(N2)SCCM0～5，10，20，30，50，100，200，500SLM0～1, 2, 3, 5, 10精度(％F.S)±1控制阀动作型式常闭式线性(％F.S.)±0.5～1重复精度(％F.S.)±0.2响应时间(sec)≤1流量输出信号0-
5.00V流量设定信号0-
5.00V电器接头DB15 pin(接头)工作环境温度(℃)5～45工作压差(MPa)0.1～0.5漏率SCCSHe1×10-9最大耐压3MPa介质接触材质304，316，316L密封材料金属密封接头VCR " 1/4、1/2Swagelok1/8”、1/4” 、3/8” 、1/2”或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm接头和尺寸Φ6mm,1/4"Swagelok:127×28×100mm1/4"VCR:127×28×100mm电源要求 15V,50mA;-15V,200mA型号
LF400-F□□－□□□－□□□－□□□型式A模拟式B数字式功能 M流量计C流量控制器流量范围 ABC 气体种类 013N2008Air015O2004Ar025CO2001HeFFF其他接头1/4”VCR1 1/2”VCR23”SWL36”SWL4其他F讯号DC 0~5V1 其他2电源DC /-15V1
流量范围是以mL/min，L/min 为单位 例：5mL/min 表示为005500mL/min表示为500 50 L/min(nor) 表示为50L规格 (热式)
尺寸/定义图
设定/显示/电源一体型控制器 LF-1D