适用范围:生产半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、光学镜片、高精度线路板、光电器件、各种电子器件等电子工业用超纯水系统。水质可达最高可达18.3兆欧,符合电子行业生产所需超纯水水质要求。我公司曾为国外很多知名电子工业厂家制作工业超纯水设备。
工艺流程: 1、预处理-反渗透-水箱-阳床-阴床-混合床-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-精制混床-精密过滤器-用水对象2、预处理-一级反渗透-加药机( PH调节)-中间水箱-第二级反渗透-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-0.2或0.5 μ m精密过滤器-用水对象 3、预处理-反渗透-中间水箱-水泵-EDI装置-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-0.2或0.5 μ m精密过滤器-用水对象 4、 预处理-反渗透-中间水箱-水泵-EDI装置-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-精制混床-0.2或0.5 μ m精密过滤器-用水对象
水质:水质符合美国ASTM标准,电子部超纯水水质标准(18MΩ*cm,15MΩ*cm,2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四级) 材质:钢衬胶 不锈钢 有机玻璃等 流量(m3/h):0.1-500 |