型号(Model)

Fetura2000（H）(A)

Fetura3000（H）(A)

Fetura5000（H）(A)

Fetura8000（H）(A)

测量范围(mm)

X

200

300

500

800

Y

200

300

500

800

Z

200

250

技术指标Technical Features

影像摄取系统

SONY 1/2" High-resolution black & white CCD camera

德制1394接口，数字式1/2"高分辨率彩色CCD，最高达到每秒80幅显示频率

分辨率

0.1um

重复精度

X、Y=1.3um；Z=2.5um

（H）X、Y=1.3um

X、Y=1.3um；Z=2.5um

（H）X、Y、Z=2.0um

测量精度

U1 x、y = (1.5+L/333)um
Advance：U1 x、y = (1.0+L/333)um

U1 x、y = (2.0+L/333)um
Advance：U1 x、y = (1.0+L/333)um

U1 z = (3.0+L/250)um
Advance：U1 z = (2.0+L/250)um

U1 z = (3.0+L/250)um
Advance：U1 z = (1.5+L/250)um

U2 x、y = (2.0+L/250)um
Advance：U2 x、y = (1.5+L/250)um

U2 x、y = (2.5+L/250)um
Advance：U2 x、y = (1.5+L/250)um

光源照明系统

同轴光（黄色LED）
轮廓光（黄色LED)
环光（黄色8向16位）

同轴光（2组白色LED，含图案对焦光学片及机构）
轮廓光（白色LED)
环光（白色7向14位附彩色CCD）

雷射激光系统

Keyence LKG30 光点理论直径：30um 工作范围：±4.5um 参照距离：30mm 光波长度：650nm

CCD两种对焦模式

快速对焦（约1.5秒）& 高精度对焦

雷射对焦

单点对焦/扫描对焦

缩放倍率
(2*3段同轴Zoom)

1X物镜

25X 50X 100X (分辨率：1280X1024 17")

2X物镜

50X 100X 200X (分辨率：1280X1024 17")

焦距/工作范围

1X物镜

92mm/81~93mm

2X物镜

36mm/34~37mm

机器特征Machine Features

机器型式

花岗岩床台固定桥式

机器重量（净重/毛重）

590kg/660kg

710kg/810kg

1080kg/1230kg

2120kg/2320kg

最大载荷

30kg

最高运行速度

X、Y=200mm/s Z=100mm/s

X、Y=300mm/s Z=200mm/s

最高加速度

1000mm/s2

系统特征System Features

控制系统

全自动CNC控制系统

驱动系统

四轴程控：三轴交流伺服马达全闭回路控制，高精密级线性滑轨与预压滚珠螺杆驱动，步进马达Zoom同轴控制镜头组

软件配置

标准

PowerMetrix 3.0

选配

制程统计管制SPC模块（网络版）；QV、VMS程序转换系统PowerMetrix离线版；3D型状误差动态分析软件；CAD整合型报表；精密测量操作系统等

操作系统

Windows XP

外部工作环境Operating Environment

电源

220V 50～60HZ >10A

功率

1.5KW

2.0KW

温度范围

20℃±2℃    1℃/1h    2℃/24h    1℃/m

湿度范围

40%~70%

电脑配置

可选（实际出货以报价单为准）